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测量半导体层掺杂剂含量的非接触系统技术方案
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文档序号:8612813
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一种半导体材料的掺杂剂含量的非接触测量的系统和方法,通过将红外辐射(IR)反射出材料并将辐射分裂成两束,将每个光束通过不同波长范围的通带滤波器,比较通过每个滤波器的能量的级别并通过参照根据用于该系统的已知晶片掺杂剂含量做出的相关曲线计算掺杂...
该专利属于奥罗拉控制技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过奥罗拉控制技术有限公司授权不得商用。
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