下载一种研磨盘平面度修正装置的技术资料

文档序号:8599150

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本实用新型公开了一种研磨盘平面度修正装置,包括伺服电机、丝杠丝母螺旋副机构、方形导轨、矩形导轨和平面度修正机构,所述的丝杠丝母螺旋副机构安装在方形导轨内,方形导轨设置在矩形导轨内,矩形导轨通过底板与被修复研磨盘主机相连。本实用新型技术方案,...
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