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本实用新型公开了一种硅片清洗机的洗槽，包括洗槽箱体，还包括设置在洗槽箱体内的缓冲装置，且缓冲装置相对于洗槽箱体的侧壁倾斜预设角度布置。通过在洗槽箱体内放置缓冲装置，并将硅片放置在缓冲装置上，使硅片的一个表面与缓冲装置接触，一个侧边与洗槽箱体...
该专利属于英利能源（中国）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英利能源（中国）有限公司授权不得商用。

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