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一种运行粒子束系统的方法,其包括确定连接至数据网络的束偏转模块的偏转量及偏转时间;确定连接至数据网络的束熄灭模块的不熄灭时间;确定连接至数据网络的束熄灭模块的熄灭时间;产生包括多个数据记录的数据结构,其中每一个数据记录包括表示用于至少一个模...该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。
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一种运行粒子束系统的方法,其包括确定连接至数据网络的束偏转模块的偏转量及偏转时间;确定连接至数据网络的束熄灭模块的不熄灭时间;确定连接至数据网络的束熄灭模块的熄灭时间;产生包括多个数据记录的数据结构,其中每一个数据记录包括表示用于至少一个模...