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一种二维硅基的光子晶体慢光波导装置制造方法及图纸
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文档序号:8593349
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本发明属于光学技术领域,涉及一种二维硅基的光子晶体慢光波导装置,在二维硅片的表面上沿硅片长边的方向顺序排列挖制以二维硅片中心线为对称轴的圆弓形散射元,在二维硅片的对称轴上留有一排不挖圆弓形散射元而构成线缺陷;每排圆弓形散射元上等间隔挖制5-...
该专利属于青岛大学所有,仅供学习研究参考,未经过青岛大学授权不得商用。
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