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微纳尺度材料赛贝克系数的测量机构及其制备方法技术
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文档序号:8592854
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本发明提供一种微纳尺度材料赛贝克系数的测量机构,衬底上设有释放阻挡带,释放阻挡带内封闭有热隔离腔体;热隔离腔体的正上方设有一对热电偶,第一热偶条和第二热偶条的材料特性不同;热隔离腔体的上方一侧设置有第一加热电阻条,上方另一侧设置有第二加热电...
该专利属于江苏物联网研究发展中心所有,仅供学习研究参考,未经过江苏物联网研究发展中心授权不得商用。
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