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非接触式流体元器件振动检测装置制造方法及图纸
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文档序号:8592542
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本发明公开了一种非接触式流体元器件振动检测装置。包括六个结构相同的流场上界面被测流体元器件位姿调节机构、支撑架、三个结构相同的传感测量装置、流场上界面被测流体元器件及其夹持机构、流场下界面结构及其位置调节机构、隔振平台、运动平台、气液管路以...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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