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本发明公开了一种柔性衬底光伏电池透明氧化物薄膜的制备方法，本发明采用射频磁控溅射的方法在玻璃衬底上制备ZnO:Al薄膜，并通过实验得到了最佳的沉积条件，给出了溅射功率（125W）、工作气压（0.5Pa）和衬底温度（220℃）等工艺参数下结晶...
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