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一种非晶碳复合涂层及其制备方法技术
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文档序号:8590505
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本发明公开了一种非晶碳复合涂层,由依次沉积在基体上的纯钛底层、碳-钛过渡层和含钛非晶碳顶层构成,含钛非晶碳顶层由原子百分比含量90~95%非晶碳和5~10%钛组成,非晶碳有sp2和sp3两种形式,含钛非晶碳顶层中sp3形式的非晶碳原子百分比...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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