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本发明公开了一种卡努赛尔氧化沟工艺优化调控方法。该方法首先确定需要优化的m个项目；再将每个项目分别划分成n个等级；采用正交表，构造p组氧化沟运行方式，即Lp(nm)；基于计算流体力学方法构建氧化沟数值模拟模型，并对该模型进行验证；采用构建的...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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