温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种处理多晶硅生产的副产物四氯化硅的方法和系统，通过将四氯化硅水解转化为无水氯化氢气体，同时生成白炭黑，从而将毒害物质四氯化硅转化为高价值的产品。其中无水氯化氢气体可以用于制备多晶硅生产的原料三氯氢硅，从而实现了多晶硅生产中氯元...
该专利属于北京华宇同方化工科技开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华宇同方化工科技开发有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。