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本发明是微型电镀立体结构提高圆片级金属键合强度的工艺方法,通过对其中一个晶片采用双层电镀工艺,以独立的、立体的、阵列式几何图形制备,实现圆片级金属键合的剪切强度与键合面积的增强,提高键合成品率,至少包括在原有器件设计版图上增加第二次电镀金属...该专利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第五十五研究所授权不得商用。
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本发明是微型电镀立体结构提高圆片级金属键合强度的工艺方法,通过对其中一个晶片采用双层电镀工艺,以独立的、立体的、阵列式几何图形制备,实现圆片级金属键合的剪切强度与键合面积的增强,提高键合成品率,至少包括在原有器件设计版图上增加第二次电镀金属...