温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明是基于薄膜材料的三维自支撑微纳米功能结构的制备方法，其包括步骤：在清洗过的光滑衬底上过渡层的制备；制备纳米薄膜并从光滑衬底上剥离纳米薄膜；制备具有孔洞结构的支撑衬底；将纳米薄膜到孔洞结构支撑衬底上的转移；在纳米薄膜上制备微纳图形；离子...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。