下载一种用于搅拌硅片研磨液的搅拌叶的技术资料

文档序号:8586247

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本发明公开了一种用于搅拌硅片研磨液的搅拌叶,包括搅拌叶体体,所述搅拌叶本体包括连接部分,所述连接部分的边缘均匀设有圆弧凸面,每个所述圆弧凸面上设有相应的搅拌片,所述搅拌片与所述圆弧凸面垂直连接,搅拌时,通过搅拌片边缘的圆弧凸面与搅拌片进行搅...
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