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一种激光加工的Ｚ轴跟踪系统，激光头与直线轴承组件活动部分联结，通过弹性元件与直线轴承组件固定部分配合，构成传感和执行功能合一的表面跟踪系统。该系统还可包括电磁铁，接受ＣＮＣ系统程序控制，构成激光头快速提升系统。本系统为无跟踪滞后效应的实时系...
该专利属于华中理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中理工大学授权不得商用。

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