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气体激光器及其放电腔制造技术
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文档序号:8581895
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本实用新型公开了一种用于气体激光器的放电腔以及气体激光器,该放电腔内具有放电电极和风机,所述风机驱动所述放电腔内的气体经过所述放电电极而进行流动,从而形成一个主气流。在所述放电电极的两侧设置有导流板,所述微流道设置有所述导流板上,并且所述微...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。
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