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使激光蚀刻表面上所形成的衍射槽纹最小化的方法技术
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下载使激光蚀刻表面上所形成的衍射槽纹最小化的方法的技术资料
文档序号:858144
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一种利用激光器来修正目标表面的方法,它包括:在使目标上的光束位置移动一个距离的同时,引导一个激光束穿过一个光阑并射向一个目标基底,以使得所形成的衍射槽纹最小化。...
该专利属于博士伦公司所有,仅供学习研究参考,未经过博士伦公司授权不得商用。
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