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本实用新型提供了一种光刻物镜镜片的辅助固定装置和固定系统，所述光刻物镜镜片的辅助固定装置设于镜座上，用于辅助支撑光刻物镜镜片，包括柔性机构、镜片固定机构、镜座连接机构，所述柔性机构两端分别与所述镜座连接机构和镜片固定机构连接。本实用新型通过...
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