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本实用新型涉及一种异型碳化硅自加热式坩埚，包括碳化硅坩埚体、耐热金属丝、瓷托盘、电加热器、电压调整器，所述的碳化硅坩埚体上设置作为电极的耐热金属丝，所述的耐热金属丝连接电加热器，所述的电加热器连接电压调整器，所述的瓷托盘置于碳化硅坩埚体与电...
该专利属于上海化工研究院所有，仅供学习研究参考，未经过上海化工研究院授权不得商用。

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