下载制备热解氮化硼制品用的环空保温气相沉积炉的技术资料

文档序号:8575716

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本实用新型公开了一种制备热解氮化硼制品用的环空保温气相沉积炉,由炉体和炉盖构成,所述炉体由内至外依次为具有沉积腔的石墨筒、加热器、保温隔热层和具有夹层的外壳,石墨筒上设有石墨盖,所述保温隔热层为具有中空部的夹层结构。所述炉体底部和/或炉体侧...
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