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本实用新型公开了一种硅烷合成与蒸馏的装置，包括反应釜：反应釜上方连接有滴加罐，反应釜上方还设置有出料管，出料管前端分为两条管道，一条连接到合成冷凝器，另一条连接到蒸馏冷凝器，两条管道上均安装有阀门；蒸馏冷凝器连接到接收罐，接收罐连接到真空机...
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