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制造光学扭矩传感器的方法技术
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文档序号:857400
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一种在扭矩传感器的光栅元件表面上制造光栅图形的方法,该换能器有一个包括第一和第二刚性扭矩输入部件的轴,两个部件由扭矩联轴器连接,能够在第一和第二输入部件之间进行相对角偏移,第一和第二光栅元件分别与第一和第二输入部件联接,这两个光栅元件的表面...
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