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本实用新型公开了一种高纯镓氧化渣刮板装置,其特征在于:包括机械机构、正刮板、反刮板和氧化渣收集容器;所述机械机构连接并带动正刮板垂直上下运动、圆周运动和水平移动,所述机械机构连接并带动反刮板水平方向往复运动;所述氧化渣收集容器设在正刮板和反...该专利属于南京隆润半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京隆润半导体材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种高纯镓氧化渣刮板装置,其特征在于:包括机械机构、正刮板、反刮板和氧化渣收集容器;所述机械机构连接并带动正刮板垂直上下运动、圆周运动和水平移动,所述机械机构连接并带动反刮板水平方向往复运动;所述氧化渣收集容器设在正刮板和反...