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微纳米组合结构物及其制备方法及光学器件的制备方法技术
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文档序号:8567202
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本发明涉及微纳米组合结构物、微纳米组合结构的制备方法及由微纳米组合结构集成的光学器件的制备方法,上述微纳米组合结构的制备方法包括以下步骤:在基板上形成微结构的步骤;在形成有上述微结构的基板上蒸镀金属薄膜的步骤;对上述金属薄膜进行热处理使其变...
该专利属于光州科学技术院所有,仅供学习研究参考,未经过光州科学技术院授权不得商用。
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