下载微纳米组合结构物及其制备方法及光学器件的制备方法的技术资料

文档序号:8567202

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及微纳米组合结构物、微纳米组合结构的制备方法及由微纳米组合结构集成的光学器件的制备方法,上述微纳米组合结构的制备方法包括以下步骤:在基板上形成微结构的步骤;在形成有上述微结构的基板上蒸镀金属薄膜的步骤;对上述金属薄膜进行热处理使其变...
该专利属于光州科学技术院所有,仅供学习研究参考,未经过光州科学技术院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。