下载一种生长在Si衬底上的LED外延片及其制备方法的技术资料

文档序号:8564150

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本发明公开了一种生长在Si衬底上的LED外延片,其特征在于:包括Si衬底层、生长在Si衬底层上的Al2O3保护层,在Al2O3保护层上依次生长出u-GaN缓冲层、n-GaN层、InGaN/GaN量子阱层及p-GaN层。本发明还公开了上述LE...
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