下载一种超结垂直氮化镓基异质结场效应晶体管的技术资料

文档序号:8564063

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本发明提供了一种超结垂直氮化镓基异质结场效应晶体管,从下至上依次主要由漏极,n+-GaN衬底,GaN沟道层,AlGaN势垒层,以及AlGaN势垒层上的源极和栅极组成,源极与漏极均为欧姆接触,栅极为肖特基接触,其还包括由p-GaN缓冲层和n-...
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