下载自冷式激光扫描振镜及抑制其温度漂移的方法的技术资料

文档序号:8562288

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本发明公开了一种自冷式激光扫描振镜及抑制其温度漂移的方法,涉及激光加工设备技术领域,振镜包括由导热性好的材料制成的安装基体,安装基体内安装有工作部件,工作部件包括X振镜驱动板、X振镜、Y振镜驱动板和Y振镜,还包括用于抑制自冷式激光扫描振镜产...
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