下载片上周期变化折射率透镜光子芯片立体耦合器及制备方法的技术资料

文档序号:8562237

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本发明公开了一种片上周期变化折射率透镜光子芯片立体耦合器,包括光子芯片、周期变化折射率透镜层、光纤,光子芯片包括硅衬底,以及生长刻蚀在硅衬底顶面的脊波导、模斑转换器和光栅,模斑转换器的输入端口与脊波导的宽度相等,且模斑转换器的输入端口与脊波...
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