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一种制作高填充系数的方形孔径平面微透镜阵列的方法，所述方法包括下列步骤：选用Na+含量较高的光学玻璃作为基片，进行基片表面清洗，然后在玻璃基片上溅射钛膜层；在钛膜层上均匀涂光刻胶；使用紫外线进行曝光，进行显影；去除钛膜层和光刻胶；进行离子交...
该专利属于西南大学所有，仅供学习研究参考，未经过西南大学授权不得商用。

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