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本发明公开了一种基于固支梁电容式微机械微波功率传感器的微波频率检测装置，该检测装置包括功率分配器、传输线移相器、可调数字式移相器、功率合成器以及固支梁电容式微机械微波功率传感器；其中，功率分配器用于接收待测信号（Vx），并将待测信号（Vx）...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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