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本发明涉及一种晶圆传输机械手测试装置，其特征在于：它包括一支架、一测试手叉、一类晶圆震动感应器和控制系统；支架包括一立柱，立柱上横向连接有一上连接杆和一下连接杆，上连接杆上设置一位移传感器，下连接杆上设置一图像传感器，位移传感器和图像传感器...
该专利属于北京自动化技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过北京自动化技术研究院授权不得商用。

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