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一种基板预对准位姿测量方法技术
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文档序号:8561483
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一种基板预对准位姿测量方法,包括对输入图像进行差分并排除负边缘点,获得差分图像;对差分图像二值化并投影,采用非最大值抑制确定基板两边分别的基板边缘在图像中的可能位置;在其附近对差分图像进行搜索,将差分极值点作为基板边缘候选点;根据基板边缘的...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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