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一种激光加工设备，其包含多个Ｘ－Ｙ扫描仪，每个Ｘ－Ｙ扫描仪用于通过一个ｆθ透镜在工件表面的Ｘ轴方向和Ｙ轴方向上摆动激光束，并通过所述多个电扫描系统对所述工件的加工区进行加工，其特征在于：从所述多个Ｘ－Ｙ扫描仪发射出的每个激光束被辐射到单个工...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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