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本发明是有关于一种薄膜工艺设备及一种薄膜制作方法，包括：一个反应室、一个供气机构及一个输送机构，本发明的技术特征在于：提供一种可以上下或左右移动的供气结构及可上下移动的载盘，由此可调整供气结构与基板的距离，配合具有循环泵热源的加热机构，使得...
该专利属于核心能源实业有限公司;吉村俊秋所有，仅供学习研究参考，未经过核心能源实业有限公司;吉村俊秋授权不得商用。

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