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激光切割方法与装置制造方法及图纸
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下载激光切割方法与装置的技术资料
文档序号:8558622
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本发明公开一种激光切割方法与装置,其用以切割具有相对的底面与顶面的加工件,在底面与顶面间平行于一轴向形成加工件厚度,由激光光源发出激光光线射向加工件,再由透镜将激光光线聚焦于加工件底面,再由激光光线于加工件底面形成第一改质轨迹,再平行于轴向...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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