下载一种具有减反射特性的亚波长硅纳米线阵列的制备方法的技术资料

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本发明属于纳米技术领域,特别涉及一种具有减反射特性的亚波长硅纳米线阵列的制备方法。本发明采用n型(100)硅片,利用高真空磁控溅射技术在其表面沉积具有网状结构的银膜,然后采用湿法刻蚀技术,在硅表面获得具有减反射特性的亚波长锥形硅纳米线阵列,...
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