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本发明涉及一种通过无蜡抛光的方法改善晶圆硅片表面外观的加工工艺，方法的步骤：1）将需要清洗的硅片放到无蜡抛光机上模具的吸附垫中，无蜡贴片依靠模具上的吸附垫通过水膜的张力来固定硅片；2）硅片背面在无蜡抛光机上进行抛光；3）修复后卸片进行清洗，...
该专利属于天津中环领先材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津中环领先材料技术有限公司授权不得商用。

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