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一种薄膜状工件的除水系统，能够实现系统整体构造的简单化、小型化，能够可靠地除去工件表面及背面的水分并提高成品率和生产性。本发明的薄膜状工件的除水系统包括：除水头（200A、200B），其具有将高压气体从喷射嘴向工件（W）的一面方向喷射的喷射...该专利属于武藏野机械有限公司;修谷鲁电子机器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武藏野机械有限公司;修谷鲁电子机器股份有限公司授权不得商用。