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本发明公开一种溶液供应单元、清洁系统及其清洁方法，其中溶液供应单元包括：一容置槽体，该容置槽体容置有溶液于其中；一连接于该容置槽体的压力供应模块；一连接于该容置槽体的液体输出模块，该液体输出模块具有一管体、一设于该管体的控制阀及一设于该管体...该专利属于金宝电子（中国）有限公司;金宝电子工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过金宝电子（中国）有限公司;金宝电子工业股份有限公司授权不得商用。