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光电薄膜镜调制器制造技术
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文档序号:8554111
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本实用新型涉及一种光电薄膜镜调制器,包括由下至上依次设置的底板、电介质井和薄膜镜,其中,在所述底板上设置有多个微小平面电极,在每个电极上设置有穿过所述底板引出线;所述电介质井有多个,每个电介质井均包括井壁、井底及由井壁围绕井底形成的井坑,每...
该专利属于王选源所有,仅供学习研究参考,未经过王选源授权不得商用。
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