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一种硅基三维叠加型光纤耦合结构制造技术
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文档序号:8554078
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本实用新型涉及一种硅基三维叠加型光纤耦合结构,其结构基于硅衬底,由二维模斑转换器,周期性结构、周期性结构与脊波导组成的凹槽以及凹槽内的多列并排光栅构成。本实用新型一种硅基三维叠加型光纤耦合结构,具有耦合效率高,耦合方法独特,突破现有的单纯纵...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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