下载一种多晶硅片脱胶专用插片的技术资料

文档序号:8546096

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本实用新型公开了一种多晶硅片脱胶工装专用插片,包括插片,其特征在于:所述插片顶部左侧靠近中线设有槽口,所述插片的右边和槽口左边分别水平设有条形槽口A和条形槽口B。用本实用新型进行多晶硅片的脱胶工装时,先通过脱胶工装的两根夹杆将多晶硅片的左右...
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