下载一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置的技术资料

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本实用新型公开了一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置,包括水槽,所述水槽顶部设有盖板,水槽底部设有排水孔,水槽的左右侧壁上部分别对称设有冲淋管。用本实用新型进行脱胶冲淋时,将多晶硅片通过脱胶工装放入水槽,开启电源后,电机启动,带动传动轮转动,通...
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