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一种方法和激光系统，其通过以光束（２８）形式向工件的目标位置（１６）施加热能以升高其温度同时维持其尺寸稳定度，来从工件（２０）快速去除材料。当工件的目标部分被加热时，激光束（１２）被引导照射到加热的目标位置上。激光束优选地具有适合从工件去除...
该专利属于电子科学工业公司所有，仅供学习研究参考，未经过电子科学工业公司授权不得商用。

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