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本发明涉及一种自测量压电泵，属于微流体传输与控制技术领域。泵盖和阀盖分别通过螺钉安装在泵体的两侧；在所述泵盖和泵体之间通过密封圈压接有压电振子，在所述阀盖和泵体之间粘接有悬臂梁型进口阀和出口阀；所述压电驱动器、进口阀和出口阀均由压电薄膜和基...
该专利属于浙江师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江师范大学授权不得商用。

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