下载优化硅膜厚度均匀性的模具形状的技术资料

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一种制造半导体材料的固体层(140)的方法,该方法包括选择模具(100),该模具具有前缘厚度(104)和不同的后缘厚度(106),使得在固体层厚度与前缘和后缘在熔融半导体材料(120)中的有效浸入时间的各关系图中,与前缘和后缘相邻的固体层厚...
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