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本发明公开一种制备非晶硅/非晶锗硅叠层太阳能电池薄膜的装置，包括真空室及其内设置的等离子发生器，等离子发生器内装有与射频电源相连接的第一电极板和接地的第二电极板，接地的第二电极板设计成“V”字结构，“V”字开口朝向第一电极板，“V”字结构第...该专利属于蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司授权不得商用。