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一种基于LSP效应陷光增效新型减反射结构的制备方法技术
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文档序号:8535097
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本发明属于太阳能电池技术领域,特别涉及一种基于LSP效应陷光增效新型减反射结构的制备方法。本发明先利用碱刻蚀在单晶硅表面刻蚀出锥体形貌,然后利用溅射-退火手段在锥体表面沉积一层非连续的银纳米颗粒的方法,得到了由银纳米颗粒与锥体结构复合的新型...
该专利属于华北电力大学所有,仅供学习研究参考,未经过华北电力大学授权不得商用。
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