下载薄膜太阳能电池制造系统的技术资料

文档序号:8535074

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本发明公开了一种薄膜太阳能电池制造系统,包括炉腔;托座,设置在炉腔内;具有第一前置层的硬基板,第一前置层包括第一IB族与IIIA族,及具有第二前置层的可挠式基板,第二前置层包括第二IB族与IIIA族;气体控制器,用来通入反应气体至炉腔内:以...
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