温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种高耐压、低导通电阻的光电导开关的制造方法，包括步骤：提供半绝缘衬底，在其上形成透明电极层；在透明电极层上旋涂光刻胶层，对透明电极层作图形化，在半绝缘衬底的左右两端分别形成透明电极；在半绝缘衬底和透明电极上旋涂第二光刻胶层，对第...该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所;上海硅酸盐研究所中试基地所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海硅酸盐研究所;上海硅酸盐研究所中试基地授权不得商用。